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阵列
在玻璃基板上通过成膜、光刻、刻蚀等半导体工艺技术，制作有规则排列的特定薄膜晶体管(开关器件)阵列，以形成数据线、存储电容和信号线的工艺。
来源：《薄膜晶体管液晶显示器工厂设计规范 GB51136-2015》
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