对电子工业场所、工艺设备排放的废气通过收集后，采用物理、化学等方法对废气进行处理，达到国家相关废气排放标准的工艺过程。包括有机废气处理、粉尘废气处理、酸碱废气处理、异味废气处理和空气杀菌消毒净化等。
来源：《电子工业废水废气处理工程施工及验收规范 GB51137-2015》