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纯水
对电解质杂质含量和非电解质杂质含量均有要求的水。
来源:《洁净厂房设计规范 GB50073-2013》

将水中的强电解质和弱电解质去除或降低到一定程度的水。
来源:《钢铁企业给水排水设计规范 GB50721-2011》

杂质含量很少的水,其电解质杂质含量(常以电阻率表征)和非电解质杂质(如微粒、有机物、细菌和溶解气体等)含量均要求很少的水。
来源:《电子工业洁净厂房设计规范 GB50472-2008》

根据生产需要,去除生产所不希望保留的各种离子以及其他杂质的水。
来源:《硅集成电路芯片工厂设计规范 GB50809-2012》

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