制取和配送用于电子工业生产纯水的系统，通常包括纯水制备、纯水的输送和分配、纯水的回收和处理的系统。
来源：《电子工业纯水系统设计规范 GB50685-2011》

制备电子工业生产所需的纯水、超纯水，由制备设备、管路、电气及相应仪表等组成的系统的总称。
来源：《电子工业纯水系统安装与验收规范 GB51035-2014》