度量水溶液阻止电流通过的能力，等于在一定温度下，一对截面积为1cm2的电极在1cm距离间的电阻值，其单位为Ω·cm或MΩ·cm。
来源：《电子工业纯水系统设计规范 GB50685-2011》

截面积为1cm2，长度为1cm的水柱，在25℃时的电阻值，常用的电阻率单位为MΩ·cm。水的纯度越高，电阻率越大。
来源：《电子工业纯水系统安装与验收规范 GB51035-2014》