电子产品生产外延、化学气相沉积、刻蚀、掺杂等工艺中使用的自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性、氧化性、惰性等特殊气体。
来源：《特种气体系统工程技术标准 GB50646-2020》

电子产品生产过程中，使用的硅烷、磷烷、乙硼烷、砷烷、四氯化硅、氯气等气体。这些气体具有可燃、有毒、腐蚀或窒息等特性。
来源：《电子工业洁净厂房设计规范 GB50472-2008》

指电子产品生产过程中使用的硅烷、磷烷、乙硼烷、砷烷、四氯化硅、氯气等具有可燃、有毒、腐蚀或窒息等特性的气体。
来源：《洁净厂房施工及质量验收规范 GB51110-2015》

为满足特定用途的气体，包括单一气体或混合气体。单一气体有259种，其中电子气体115种，有机气体63种，无机气体35种，卤碳素气体29种，同位素气体17种。
来源：《洁净室施工及验收规范 GB50591-2010》