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标准机械接口
适用于不同生产设备的一种通用型接口装置，可将硅片自动载入设备，并在加工结束后将硅片送出，同时保护硅片不受外界环境污染。
来源：《硅集成电路芯片工厂设计规范 GB50809-2012》
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